荷兰ASML停止供应中芯国际的极紫外光刻机 5纳米晶圆制造工艺或受阻

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达科技——最权威的科技资讯 达科技 2019-11-07 17:22:22

导语 荷兰ASML停止供应中芯国际的极紫外光刻机5纳米晶圆制造工艺或受阻

荷兰ASML

荷兰ASML停止供应中芯国际的极紫外光刻机 5纳米晶圆制造工艺或受阻

  据日经新闻报道,荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔(ASML)停止向中芯国际供应极紫外光(EUV)光刻机。该报道援引多位ASML供应商关系人士指出,ASML是为了避免因供应最先进的设备给中国,担心刺激到美国,因此决定暂时中止原定于今年交货的EUV极紫外光刻机的交付。

  据报道,2018年4月,中芯国际向阿斯麦尔下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,预计将于2019年底交货。目前,中芯国际最先进的芯片晶圆制造工艺为14纳米,市场上最先进的是7纳米,台积电在7纳米制造上占有优势。

  

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  极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。阿斯麦尔停止供货,中芯国际追赶台积电的脚步将明显放慢。

  也许不了解行业人士会问,就不能找其他厂商替代吗?这回还真难。资料显示,阿斯麦尔掌握掌控了90%的高端光刻机高端市场,目前,最新的两代高端光刻机(即浸入式(Immersion)和极紫外线式(EUV)光刻机)的核心技术全部由阿斯麦尔掌握。

  2018年,ASML光刻机产量只有20台,其中台积电拿下10台,三星电子6台,英特尔3台,剩下最后的一台被中芯国际抢到。可以看到,ASML断供对中芯国际的冲击很大。

  对于阿斯麦尔断供,中芯国际称公司EUV还处于“纸面工作”阶段,尚未进行相关活动。目前,公司的先进工艺研发进展顺利,研发与生产的连接一切正常,客户与设备导入均正常运作。

  另外,英特尔,台积电,三星电子都持有ASML的股份。其中三星电子持有3%的股份,台积电持股5%,英特尔持股15%。

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